一种基于高精度齿轮加工的五轴加工装置及其加工工艺，涉及加工技术领域。该五轴加工装置包括安装板、侧护板和机械臂，侧护板的一侧与安装板连接，机械臂安装在安装板的下端，机械臂的输出端与刀具连接，刀具的下方设有操作平台，操作平台的上方设有夹紧平台，夹紧平台的外围设有夹紧板。侧护板的外表面安装有气枪，气枪的一端连接有软管。本发明工艺中使用的五轴机床分度精度高，运行时刀具的磨损可以均匀分散在每个齿上，使得每个齿的磨损情况一致，即使刀具磨损严重也不会影响齿距精度，完全可以保证齿轮的精度等级。