本发明涉及一种齿轮齿面的高精度光学测量方法，其特征在于:在入射光和被测齿面之间放置一个多面棱镜，测量时将多面棱镜移入被测齿面的齿槽内；入射光进入棱镜后，被棱镜的反射面反射，投射到被测齿面上，相机从侧面采集反射镜中被测齿面图像的图像数据，从而获得完整的齿面信息。